高精度智能化控制系統(tǒng)，定制化服務(wù)
多溫區(qū)高精度控制
搭載智能控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)遠(yuǎn)程集控
高產(chǎn)出率、高穩(wěn)定性、高空間利用率
可提供定制化服務(wù)
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專業(yè)模擬軟件
采用STR專業(yè)模擬軟件進(jìn)行SiC晶體生長全周期模擬，為客戶提供全套生長方案。
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智能控制
搭載智能控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)遠(yuǎn)程集控。
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可定制化
可根據(jù)需求，定制不同加熱方式（電阻式、電感式）。
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客戶服務(wù)
為客戶提供熱場設(shè)計與改良服務(wù)，合作攻克工藝難點(diǎn)。
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