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氣相沉積設備LPCVD
 
低壓化學氣相沉積設備（型號：MM650），工藝成熟，穩(wěn)定，較早用于TOPcon電池量產(chǎn)的LPCVD設備。

 

 

產(chǎn)能：

9400PCS/小時@182*182電池

產(chǎn)線平均良率較高，鍍膜均勻性好；
自有專利的布氣系統(tǒng)，增加了流場均勻性和可控性

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