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300mm CPM TOOL
12寸半自動拋光設備 TLT300MP
 
TLT300MP是根據(jù)當前實驗室客戶需求開發(fā)的實驗用12英寸CMP設備。該設備擁有自主知識產(chǎn)權的創(chuàng)新技術,配備性能優(yōu)越的拋光單元,兼容8/12英寸晶圓,適用于多種材質(zhì),可實現(xiàn)晶圓表面的超高平整度,工藝搭配靈活、滿足高精度制程技術需求。

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